清華大學：清華大學精密儀器系是我國歷史最悠久的工科院系之一，擁有儀器科學與技術、光學工程兩個國家一級學科，在最近的全國高校學科評估中儀器學科蟬聯A+級，光學學科步入A序列，學科綜合實力已躋身本領域世界前列。

 

　　北京航空航天大學：北京航空航天大學儀器科學與光電工程學院的精密儀器與導航控制系，是源于航空航天工業和“兩彈一星”戰略急需，由我國慣性技術的奠基人之一林士諤先生在北航創建的陀螺慣導研究室，2003年正式成立。

 

　　天津大學：天津大學精密儀器與光電子工程學院的前身是成立于1952年的精密機械儀器專業，1959年成立精密儀器工程系，1995年10月2日，在原精密儀器工程系基礎上成立了精密儀器與光電子工程學院，具有一流的學科和學術地位。

 

　　哈爾濱工業大學：哈爾濱工業大學儀器科學與工程學院以培養創新型領軍人才為中心，堅持面向國家重大需求、堅持面向世界科技前沿、堅持面向經濟主戰場、堅持面向人民生命健康，在精密儀器與智能工程、測試技術與計量儀器、生物醫學與儀器工程等領域立足航天、服務高端裝備和信息產業發展。

 

　　上海交通大學：上海交通大學是國內最早開展儀器科學與技術教學和科研的高校之一，1958 年設立精密儀器及機械專業，1975 年建立精密儀器系，由著名無線電與水聲工程專家朱物華院士出任系主任。